“晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心”于2009年经国家发改委批准正式成立挂牌。该中心依托“陕西省晶体生长设备工程技术研究中心”、“教育部晶体生长设备与控制技术工程研究中心”和“西安理工大学”运行,集成企业、科研机构、高等院校等各类科技资源,解决晶体生长领域行业共性问题,满足企业新技术及新产品开发需要,推进科技成果产品化,科技项目工程化和产业化的目标。
建设情况:
研究中心现有建筑面积为1550平方米的研发实验基地,另外建有测试场地1150平米,基本具备在晶体生长设备制造领域开展实验研究、工程化和试验验证的基础条件。
人员结构:
中心现有科研人员29名,固定人员18名。科研人员中具有正高级职称15名,副高级职称8名,中级职称4名,辅助人员2名。中心固定科研人员中拥有博士学历的有16名,占人员比例88%。
主要研究方向:
① 硅单晶炉的设计、控制系统集成技术和工艺试验研究
② 研制开发硅单晶炉用磁场
③研究开发晶体生长设备的过程监测及全自动控制系统
近五年取得的成果:
中心获国家科学技术发明二等奖1项,省部级一等奖2项.中心发表论文、文章超过150篇,其中被三大检索收录的有80余篇。
工程中心共申请专利及软著54件,其中发明专利34件,实用新型16件,软件著作权4件;已获批专利41件,其中,获批两项国际专利(美国)。
中心承担科研项目70余项,包括“国家重大专项”项目1项,国家“973计划”项目1项,国家“863”计划1项,国家自然科学基金重点1项,面上项目10项,其他省部级项目10余项,企业委托项目50余项。科技项目经费到款5千余万元。