单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法-bet36体育在线288

申请号：	CN200610105330.2	专利类型：	发明
首次公开日：	20070801	所在行业：	装备制造
申请日：	20061228	专利权人：	西安理工大学
授权日：	20081126	法律效力：	有效
摘要：	本发明公开了一种单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法，通过设计提拉头部位的绝缘，使籽晶、籽晶夹头、钢丝绳、绕丝轮、称重滑轮与整个炉体绝缘，以上述部分作电容一极，炉体的其它部分作电容另一极，构成电容器；检测上述电容值并转换成相应的电压值；当籽晶与液面接触时，电容值会发生突变，相应地对应的检测电压也会发生突变；将输出的电压值与一阈值进行比较，给出开关信号，即可表明籽晶与液面发生接触的状态。本发明的检测方法简单，极大地提高了系统的可靠性和自动化程度。